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我國建設世界最大真空互聯(lián)科研裝置

    世界首個(gè)集材料生長(cháng)、器件制備、測試分析為一體的納米領(lǐng)域大科學(xué)裝置——納米真空互聯(lián)綜合實(shí)驗站正在我國江蘇蘇州工業(yè)園區建設。這個(gè)實(shí)驗站相當于在太空建設了一個(gè)全真空的納米器件研發(fā)平臺。

    正在建設中的這個(gè)納米實(shí)驗站是目前世界上最大的真空互聯(lián)科研裝置。其總體方案是：用總長(cháng)近500米的超高真空管道，將上百臺用于材料生長(cháng)、器件制備、測試分析的大型儀器設備互聯(lián)，實(shí)現樣品在不同設備之間傳送時(shí)其表面不被氧化、沾污，不被外界大氣環(huán)境所破壞。中科院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所研究員、納米真空互聯(lián)實(shí)驗站常務(wù)副總指揮丁孫安說(shuō)，實(shí)驗站通過(guò)超高空間分辨、時(shí)間分辨、能量分辨、質(zhì)量分辨等的高端能力儀器設備，對物質(zhì)的“本征性質(zhì)”進(jìn)行研究，從而實(shí)現量子材料的設計、制備和表征，后摩爾時(shí)代器件加工和測試分析，同時(shí)開(kāi)展新材料、新工藝、新結構和新功能的開(kāi)發(fā)和研究，以及形成第三代半導體工藝包。

    “這個(gè)實(shí)驗裝置是在類(lèi)似太空的全真空環(huán)境下的納米器件研發(fā)平臺，相當于把現有的加工設備統一搬到太空。”丁孫安說(shuō)。

    納米真空互聯(lián)實(shí)驗站是依托中科院蘇州納米所，聯(lián)合清華大學(xué)薛其坤院士團隊、中科院大連化學(xué)物理研究所包信和院士團隊建設的。一期建設由中科院、江蘇省、蘇州市和蘇州工業(yè)園區共建，預計2018年建成，建設經(jīng)費3.2億元。一期建成后將連接30多臺設備，形成100米的真空管道。整個(gè)實(shí)驗站的總預算是15億元。

    蘇州工業(yè)園區是全球納米領(lǐng)域具有代表性的八大產(chǎn)業(yè)區域之一。中科院納米所所長(cháng)楊輝說(shuō)，在此建設納米真空互聯(lián)實(shí)驗站，是力圖通過(guò)真空條件下的互聯(lián)集成和若干重大項目驗證，突破現有儀器設備的功能限制，實(shí)現材料制備、測試分析與微納加工工藝等方面協(xié)同效應，為科研和戰略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供先進(jìn)的、開(kāi)放性的平臺。